Другие журналы
Сетевое издание Машины и установки: проектирование, разработка и эксплуатация

Издатель ФГБОУ ВПО "МГТУ им. Н.Э. Баумана". Эл. № ФС 77-61859. ISSN 2412-592X

Публикации с ключевым словом - анодная посадка

Найдено: 3
Особенности применения электростатического соединения кремния со стеклом в микросистемной технике
# 08, август 2014
УДК: 621.3.049.779:621.791.9:621.792.6
Синев Л. С.
Эта статья — обзор технологического процесса электростатического соединения (анодной посадки) и особенностей его применения в разработках микроэлектромеханических систем. Представленнный обзор показывает, что технологический процесс электростатического соединения хорошо зарекомендовал себя. Для соединения полированных поверхностей без топологии он является простым в реализации. В то же время, для сложных конструкций микроэлектромеханических систем, где применяются гибкие подвижные элементы, где требуется обеспечивать соединение вблизи КМОП элементов или использовать герметичные электрические вводы, процесс разработки должен включать оптимизацию конструкции и режимов проведения процесса соединения экспериментальными методами и методами математического моделирования с целью получения наиболее эффективных результатов.
Термокомпенсация измерительного канала датчика давления на основе полупроводниковых интегральных преобразователей
# 11, ноябрь 2012
DOI: 10.7463/1112.0482504
Борзов А. Б., профессор, д.т.н. Лихоеденко К. П., Цыганков В. Ю., Власов А. И., Тиняков Ю. Н., Андреев К. А., Цивинская Т. А.
Рассматриваются     подходы к проблеме температурной компенсации погрешностей измерительного канала датчика давления для космических аппаратов, работающего в жестких эксплуатационных условиях. Показано, что для коррекции, и соответственно, температурной компенсации выходного сигнала датчика давления характерны два способа: вспомогательных измерений температуры и образцовых сигналов. Разработаны и опробованы технические решения по созданию термически изолированных ячеек и электронной схемы компенсации температурной погрешности датчиков. Определены методы термокомпенсации дрейфа нуля и чувствительности тензорезистивных полупроводниковых датчиков давления. Получены значения температурных погрешностей, позволяющих отнести изготовленный измерительный канал согласно ГОСТ 22250-93 к классу точности 0,25.
 
ПОИСК
 
elibrary crossref neicon rusycon
 
ЮБИЛЕИ
ФОТОРЕПОРТАЖИ
 
СОБЫТИЯ
 
НОВОСТНАЯ ЛЕНТА



Авторы
Пресс-релизы
Библиотека
Конференции
Выставки
О проекте
Rambler's Top100
Телефон: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00)
  RSS
© 2003-2017 «Машины и установки: проектирование, разработка и эксплуатация» Тел.: +7 (915) 336-07-65 (строго: среда; пятница c 11-00 до 17-00)